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            雙頻激光干涉儀

            LH2000雙頻激光干涉儀

            產品描述:

            專為計量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀
            性能卓越的高精度線性位移、長度檢測標定工具

            服務熱線:4008168900
            立即咨詢

                滿足計量檢測用戶更穩定、更高精度、更便利的使用要求;

                以光刻機用激光干涉測量系統為基礎,

                在保留高穩定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時,

                將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,

                一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗;

                典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。

             系統組成:
                 LH2000激光測頭及附件
                 環境補償單元
                 LaserLC測量軟件
                 線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
                 光學調整附件
                 三腳架及其他測量附件
             

            (欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異,請閱覽本網站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀




            激光頭尺寸330mm×110mm×95mm
            激光頭重量3.3kg
            激光光束直徑6mm
            激光功率 >0.5mw
            真空波長632.99nm
            頻差可定制 典型值7±0.5 MHz
            工作溫度范圍+10℃~+30℃
            儲存溫度范圍+15℃~+45℃
            激光穩頻精度±0.02ppm
            線性測量范圍40m
            線性測量精度±0.1ppm(真空中)
            ±0.4ppm*(使用LC-2000環境補償器)
            分辨率1nm
            測量速度2m/s
            工作電源220V/50Hz



            懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。


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            LH2000用于三坐標機校準

            LH2000用于數控機床校準

             

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